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二探針單晶硅及多晶硅測(cè)試儀

簡(jiǎn)要描述:二探針單晶硅及多晶硅測(cè)試儀 本儀器主要用于測(cè)量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和加工。

  • 產(chǎn)品型號(hào):TC-GL-1
  • 廠商性質(zhì):其他
  • 更新時(shí)間:2025-09-03
  • 訪  問  量:559

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產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)加工定制

二探針單晶硅及多晶硅測(cè)試儀  型號(hào):TC-GL-1

本儀器主要用于測(cè)量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和加工。

    為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,特別是計(jì)算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展,越來越多的使用到了大直徑、高純度、均勻度更高的單晶硅材料。目前,在、等先進(jìn)的工業(yè),均采用了二探針法,使用二探針檢測(cè)儀來測(cè)量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。

儀器符合ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測(cè)量硅單晶試驗(yàn)方法》的標(biāo)準(zhǔn),是一種新型的半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀,適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針法精確測(cè)量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,從而進(jìn)一步判斷半導(dǎo)體材料的性能,指導(dǎo)和監(jiān)視工藝操作,也可以用來測(cè)量金屬材料的電阻,儀器具有測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、造型美觀等特點(diǎn)。也可以配四探針測(cè)試頭作常規(guī)的四探針法測(cè)量硅晶體材料。

    儀器分為儀表電氣控制箱、測(cè)試臺(tái)、探頭三部分,儀表電氣控制箱由高靈敏度直流數(shù)字電壓表、高抗干擾高隔離性能的電源變換裝置、高穩(wěn)定高精度恒流源和電氣控制部分組成。測(cè)量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示,零位穩(wěn)定、輸入阻抗高,并設(shè)有自校功能。在棒狀材料使用二探針法測(cè)試時(shí),具有系數(shù)修正功能,從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù),可以直接讀出電阻率,使用方便。測(cè)試臺(tái)結(jié)構(gòu)新穎,造型美觀,可以方便地固定好大小任意尺寸的樣品,并可以作逐點(diǎn)選擇步進(jìn)測(cè)量,也可以自由選擇固定位置測(cè)量,電活動(dòng)自如,具備鎖定裝置,方便重復(fù)測(cè)量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,測(cè)試探頭能自動(dòng)升降,探針為碳化鎢材料,配置寶石軸承,具有測(cè)量精度高、游移率小、耐磨、使用壽命長(zhǎng)特點(diǎn)。同時(shí)探頭壓力恒定并且可調(diào)整,以適合不同的材料。

儀器主要技術(shù)指標(biāo):

1.可測(cè)硅材料尺寸:

     直徑Φ25~Φ150mm滿足ASTM F-397的技術(shù)要求。

     長(zhǎng)度:100~1100mm.

2.測(cè)量方式:軸向測(cè)量,每隔10mm測(cè)量一點(diǎn)。

3.測(cè)量電阻率范圍:10-3~103Ω-cm,可擴(kuò)展到105Ω-cm。

4.數(shù)字電壓表:

    (1)量    程:0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V

    (2)測(cè)量誤差:±0.3%讀數(shù)±2字

    (3)輸入阻抗:0.2mV和2mV檔>106Ω

                  20mV檔及以上>108Ω

    (4)顯    示:31/2位LED數(shù)字顯示,范圍0~1999。

5.恒流源:

    (1)電流輸出:直流電流0~100mA連續(xù)可調(diào)。

    (2)量    程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA

    (3)電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2字

6.二探針測(cè)試裝置:

    (1)探針間距:4.77mm

    (2)探針機(jī)械游移率:0.3%

    (3)探針壓力:0~2kg可調(diào)

    (4)測(cè)試探頭自動(dòng)升降

7.二探針測(cè)試臺(tái)

    (1)測(cè)試硅單長(zhǎng)度:100-1100mm

    (2)測(cè)試點(diǎn)間距:10mm

    (3)測(cè)試臺(tái)有慢、快二種移動(dòng)速度,快速移動(dòng)速度為1000mm/分(均勻

手動(dòng))

8.電源:交流220V±10%,50HZ±2HZ,消耗功率<150W

產(chǎn)品名稱:智能型環(huán)境測(cè)試儀 便攜式溫濕度大氣壓力計(jì)
產(chǎn)品型號(hào):PTHA601

智能型環(huán)境測(cè)試儀 便攜式溫濕度大氣壓力計(jì)型號(hào):PTHA601

一、用途: 
PTHA601智能型環(huán)境測(cè)試儀(溫濕度大氣壓力計(jì))是一種高穩(wěn)定多功能的測(cè)量?jī)x器,于30.00~110.0kPa范圍內(nèi)的環(huán)境大氣壓力、-30~+70℃的范圍內(nèi)的環(huán)境大氣溫度; 0~ RH范圍內(nèi)的探測(cè)點(diǎn)空氣濕度、-20~+60℃范圍內(nèi)的探測(cè)點(diǎn)空氣溫度的測(cè)量,是各環(huán)境監(jiān)測(cè)站、實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)藥衛(wèi)生、建筑空調(diào)供暖、通風(fēng)、無(wú)塵室測(cè)試或標(biāo)定大氣壓力及溫濕度的理想儀器。 
二、特點(diǎn): 
1. 便攜式、多功能、高分辨率、高精度、高穩(wěn)定性、數(shù)字顯示、直讀測(cè)量數(shù)據(jù)。 
2. 全觸摸按鍵、液晶顯示、中文面板指示測(cè)量功能、操作簡(jiǎn)便、直觀易讀、性價(jià)比高。 
3. 直讀大氣壓力、溫度;空氣溫度、濕度等測(cè)量數(shù)據(jù)及連接電腦輸出測(cè)量數(shù)據(jù)(選配)。 
4.采用*,帶校準(zhǔn)、帶溫補(bǔ)的高精度大氣壓力傳感器。 
5.采用瑞士*,帶校準(zhǔn)、帶溫補(bǔ)的溫濕度傳感器。 
6、采用飛利浦*低功耗微電腦處理器及其他優(yōu)良元器件。 
7.內(nèi)置一體化大氣壓力、大氣溫度探頭,可測(cè)量大氣壓力、大氣溫度(環(huán)境溫度)。 
8、外置一體化空氣濕度、空氣溫度探棒,可測(cè)量空氣溫度(風(fēng)溫)、空氣濕度、空氣露點(diǎn)。 
9.具有測(cè)量值溫度補(bǔ)償和智能數(shù)值穩(wěn)定功能。 
10.低電池電壓指示。 
11.使用一節(jié)9V疊層電池可連續(xù)工作50小時(shí)以上。 
三、技術(shù)指標(biāo): 
工作范圍 
大氣壓力30.0~110.0kPa /內(nèi)置大氣壓力 
大氣溫度-20~+60℃ /內(nèi)置大氣溫度) 
空氣濕度0~ RH(溫濕度探棒) 
空氣濕溫度-30~70℃ (溫濕度探棒) 
分辨率 
大氣壓力0. 01kPa 
大氣溫度0.1℃ 
空氣濕度0.1%RH 
準(zhǔn)確度等級(jí) 
大氣壓力±0.3KPa(在30.0~110.0kPa內(nèi)) 
大氣溫度±2.0℃(在0~65℃內(nèi)) 
空氣濕度±3%RH(標(biāo)配) 
±2%RH(選配) 
注:以上是20~80%RH范圍內(nèi)的準(zhǔn)確度等級(jí) 
空氣濕溫度±0.4℃在25℃時(shí),±0.9℃(0~40℃) 
電腦接口RS232(選配) 
波特率9600bd 
預(yù)熱時(shí)間5~15分鐘 
電源使用一節(jié)9V疊層電池 
 

 

 

二探針單晶硅及多晶硅測(cè)試儀

 

 

 

 

 

 

 

產(chǎn)品名稱:FSY-B型腐蝕率監(jiān)測(cè)儀 腐蝕率監(jiān)測(cè)儀
產(chǎn)品型號(hào):FSY-B

FSY-B型腐蝕率監(jiān)測(cè)儀 腐蝕率監(jiān)測(cè)儀  型號(hào) FSY-B
  一、概述 

    FSY-B型腐蝕率監(jiān)測(cè)儀是應(yīng)用現(xiàn)代腐蝕電化學(xué)理論,采用了先進(jìn)的計(jì)算  機(jī)技術(shù),它是具有堅(jiān)固美觀的外型,操作簡(jiǎn)便等特點(diǎn)的腐蝕率測(cè)試儀器。它  可廣泛運(yùn)用于金屬腐蝕控制研究和工業(yè)循環(huán)水系統(tǒng)現(xiàn)場(chǎng)腐蝕在線監(jiān)測(cè)。 
    
二、FSY-B型腐蝕率監(jiān)測(cè)儀技術(shù)參數(shù) 
   1、測(cè)量范圍:0.000~1.000mm/a; 
   2、精度:0.0001mm/a; 
   3、工作電壓:220V±10﹪,50Hz±5﹪; 
   4、消耗功率:15W; 
   5、外形尺寸:260×270×75(mm )。 
    
三、FSY-B型腐蝕率監(jiān)測(cè)儀功能特點(diǎn) 
    自動(dòng)連續(xù)測(cè)量、記錄數(shù)據(jù)、繪制腐蝕、點(diǎn)蝕曲線和微機(jī)間的數(shù)據(jù)通訊等   功能,顯示和打印測(cè)試電材料的瞬時(shí)腐蝕率、點(diǎn)蝕、平均腐蝕率。儀器   配有RS485通訊口。 
    使用該儀器觀察腐蝕的變化過程和趨勢(shì)是它主要的功能。

 

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